D07-7K/7B系列质量流量控制器/质量流量计/流量计

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D07-7K/7B系列质量流量控制器/质量流量计/流量计

D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。 D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接

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主要技术指标

表1. D07-7B 型MFC性能指标

编号	项目	D07-7B 型
1	流量规格	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM
2	准确度	±1.5 % F.S
3	线性	±(0.5~1.5) % F.S
4	重复精度	±0.2 %F.S
5	响应时间	电特性: 10 sec 气特性: (1 ~ 4) sec
6	工作压差范围	(0.1 ~ 0.5) MPa
7	耐压	3 MPa
8	工作环境温度	5 ℃ ~ 45 ℃
9	输入输出信号	0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
10	电源	+15 V 50 mA -15V 200 mA
11	外形尺寸	见图4
12	重量	1.1 kg

注意:

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N₂）标定。

质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)

标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压 — 101325 Pa (760mm Hg)

F.S (Full Scale): 满量程值

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