CS200D质量流量控制器/质量流量计/流量计

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高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,抗电磁干扰

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产品型号 CS200D

产品类型高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,抗电磁干扰

流量量程 2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm，200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

产品精度 ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)

重复精度 ±0.2% FS

线性 ±0.5% F.S.

响应时间 ≤0.8sec

工作温度范围 (0~50)°C

耐压 3MPa

密封材料金属密封 Metal

输入输出信号 (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus

电源 ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC

阀类型常开或常闭

温度系数 Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero ≤±0.02% F.S./℃

零点飘移指标＜0.6%F.S. per year without autozero

电气连接 Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

工作压差范围 (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）

漏率 1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）

标准接头形式双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),

双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型

表面化学成分无

表面粗糙度 25µinch

抗电磁干扰 CE

重量 1.2Kg